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HWGK0133X-18: UV光刻机
HWGK0133X-18: 紫外光刻机
HWGK0133X-18: 投影式光刻机
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所在地: 河北保定市
有效期至: 长期有效
最后更新: 2018-10-06 09:03
报价
 
公司基本资料信息
详细说明
 HWGK0133X-18紫外线光刻箱,配备电子电源,无级调光,主要用于光刻胶测试,中小规模集成电路、半导体元器件、光电子器件、声表面波器件、薄膜电路、电力电子器件的研制和小批量生产测试。无紫外线泄露,可以最好的保护人体不受紫外线伤害的UV光刻箱,自动旋转托盘,全方位多角度平行光照射,无照射盲区。
设备组成
UV光源+光刻箱+自动转盘+电源控制器
采用模块型设计
采用模块型设计,可手持、固定、箱式使用。
UV灯头
包含一个长寿命的高压汞灯,发射出UVA(300-400nm),主光强度分布均匀。灯泡寿命为1000小时。
UV光刻箱
设备包含光刻箱,带有箱门,开关方便,在元件的光刻过程中,能够保护用户免受紫外辐射。 
内置遮光型手动快门(工作时无紫外线泄露)
设备集成可伸缩遮光型手动快门,确保光刻的优良重复性,保护用户开关光刻箱门时免受紫外辐射。
可调速自动旋转托盘
设备集成可调速自动旋转托盘,光刻效果更好,更彻底。
无级变光(光强可调)
灯管发光强度可以40%~100%,无级调节灯光强度,特别适合科研和工业生产。
反光内壁
光刻箱内有反光的内壁结构以及优化设计的反光镜,可保证达到均匀照射效果。
强制风冷系统
光源、电源、光刻箱都集成冷却风扇,使得系统在散热良好的环境工作,增加了系统可靠性。

类别

  

  

尺寸

外型尺寸(L×W×H)

615×415×615mm

光刻箱内(L×W×H)

330×345×330mm

灯管

灯管名称

高压汞灯

功率

450~1700W  无级调光

极限功率密度

<250mw/cm2

波峰值

365nm

曝光面积:

≥φ150mm

旋转托盘

功率

10W

最低速度

1圈/分钟

最高速度

6圈/分钟

箱内托盘

360度旋转,速度可调

电源

电源需求

220V  

整机功率

1800W

重量

光刻箱体

29KG

电源箱

4KG

灯箱

5KG

总重量

38KG

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